[发明专利]一种基于全琼脂F-P腔的超高灵敏度的光纤湿度传感器有效
申请号: | 201610601854.4 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106290170B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 田佳峻;胡玲;卢泽锦;姚勇 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01N21/25 | 分类号: | G01N21/25;G01N21/45 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 孙伟 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于全琼脂F‑P腔的超高灵敏度的光纤湿度传感器及其制备方法,所述传感器包括导入光纤和琼脂胶体构成的湿度敏感的琼脂F‑P腔。导入光纤和琼脂F‑P腔用端面蘸取的方法直接连接,导入光纤用于导入光源信号和传输反射光,琼脂F‑P腔用于感应环境的湿度变化。琼脂胶体具有吸湿性,是因为其表面含有大量的亲水集团,可以吸水膨胀和失水消胀,折射率和体积同时发生改变,本发明充分利用琼脂膜折射率和厚度的改变制作传感器,可以实现以超短的琼脂F‑P腔作为传感单元,从而获得超高的灵敏度。此外,琼脂粉便宜易获得,易溶于热水,冷却后胶体光学特性稳定,镀膜工艺十分简单,无需复杂操作过程和昂贵设备,可以降低传感器制备成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 琼脂 超高 灵敏度 光纤 湿度 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种基于全琼脂F‑P腔的超高灵敏度的光纤湿度传感器,其特征在于:所述传感器包括导入光纤和琼脂F‑P腔,所述导入光纤和琼脂F‑P腔直接连接;其中,所述导入光纤为单模光纤,用于导入光源信号和传输反射光,所述琼脂F‑P腔对湿度敏感,用于感应环境的湿度变化,来实现了超高灵敏度的湿度探测;所述光纤湿度传感器的工作原理是F‑P腔的灵敏度与腔长成反比,利用超短的琼脂F‑P腔作为传感单元,大大的提高了光纤湿度传感器的灵敏度;琼脂胶体吸湿导致折射率和体积同时发生快速响应,与超短的琼脂F‑P腔结构共同作用,获得了4.10nm/%RH的超高灵敏度的光纤湿度传感器;其中所述琼脂F‑P腔的腔长为6.66um。
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