[发明专利]生产氧化锌膜的方法在审
申请号: | 201610602132.0 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106591808A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 松下伸广;清野裕斗 | 申请(专利权)人: | NEC东金株式会社;国立大学法人东京工业大学 |
主分类号: | C23C18/14 | 分类号: | C23C18/14 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 宋融冰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种根据本发明用于生产氧化锌膜的方法,其包括混合锌盐、氨水和有机酸以制备含有锌氨络合物的源溶液的步骤(步骤1);使用源溶液以液相沉积法在基底上沉积氧化锌膜的步骤(步骤2);以及采用UV光照射所沉积的氧化锌膜以从沉积的氧化锌膜除去有机酸的步骤(步骤3)。本发明可以提供了一种用于生产氧化锌膜的方法,其可以简化生产装置的结构。 | ||
搜索关键词: | 生产 氧化锌 方法 | ||
【主权项】:
一种用于生产氧化锌膜的方法,包括下列步骤:将锌盐、氨水和有机酸混合以制备含有锌氨络合物的源溶液;使用所述源溶液以液相沉积法在基底上沉积氧化锌膜;和采用UV光照射所沉积的氧化锌膜以从所沉积的氧化锌膜中去除所述有机酸。
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- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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