[发明专利]装配机以及给载体装配无壳体芯片的方法有效
申请号: | 201610602299.7 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106409722B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 马丁·普吕菲尔 | 申请(专利权)人: | 先进装配系统有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明一种给载体装配无壳体芯片的装配机。具有:机架;供应装置,提供晶片,晶片具有芯片,供应装置设置在机架上;抬升装置,设置在机架上;载体‑容纳装置,容纳待装配的载体,载体‑容纳装置设置在抬升装置上借助抬升装置相对于机架沿着z‑方向可移动;装配头,用来从晶片上提取芯片并将提取的芯片定位在该容纳的载体装配位置上。载体‑容纳装置具有:单体的支承元件,是载体‑容纳装置的至少一个上方部件,待装配的载体能够平放在单体的支承元件上;输送装置,其用来沿着输送方向将载体输送到单体支承元件的上侧。单体支承元件上侧,所述输送装置在空间上集成于单体的支承元件中。还描述了一种方法,用来借助这种装配机给载体装配无壳体芯。 | ||
搜索关键词: | 装配 以及 载体 壳体 芯片 方法 | ||
【主权项】:
1.一种给载体(190)装配无壳体芯片 (282)的装配机,其用来制造电子元件,这些电子元件分别具有至少一个位于壳体中的芯片(282),该壳体具有硬化的铸造材料,所述装配机(100、300, 500)具有:机架 (112);供应装置(140),其用来提供晶片(180),所述晶片具有许多芯片(282),其中所述供应装置(140)设置在所述机架(112)上;抬升装置(513),其设置在所述机架(112)上;载体‑容纳装置(130),其用来容纳待装配的载体(190),其中所述载体‑容纳装置(130)设置在所述抬升装置(513)上,并且借助抬升装置(513)相对于所述机架(112)沿着z‑方向可移动; 以及装配头(120),其用来从提供的晶片(180)上提取芯片(282)并且将提取的芯片(282)定位在该容纳的载体 (190)的预定义的装配位置上,其中所述载体‑容纳装置(130)具有:单体的支承元件 (132、332、532),其是载体‑容纳装置(130)的至少一个上方部件,其中待装配的载体(190)能够平放在该单体的支承元件(132、332、532)上;以及输送装置(160),其用来沿着输送方向 (T)将所述载体(190)输送到单体的支承元件(132、332、532)的上侧上;其中在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上,所述输送装置(160)在空间上集成于单体的支承元件(132、332、532)中;单体的支承元件(132、332、532)具有至少两个标记(234),其在光学上可识别并且设置在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上的空间区域之外,该空间区域设置得用来容纳待装配的载体(190)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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