[发明专利]一种探针更换装置及其更换方法和测试设备

摘要

本发明提供一种探针更换装置及其更换方法和测试设备。该探针更换装置包括更换机构和辅助机构，更换机构用于对探针进行更换；辅助机构用于辅助更换机构将备用探针推动到更换位置。该探针更换装置能够实现对探针的自动更换，自动更换能使探针在更换过程中保持清洁且位置摆放准确，从而避免了人为手动更换所导致的探针沾上异物和更换后的探针位置摆放不准确的缺陷，进而减小了探针的测试误差，提高了探针测试结果的准确性；同时，自动更换还提高了探针的更换效率，从而提高了探针的测试效率。

主权项

1.一种探针更换装置，其特征在于，包括更换机构和辅助机构，所述更换机构用于对所述探针进行更换；所述辅助机构用于辅助所述更换机构将备用探针推动到更换位置；所述更换机构包括探针盒，用于容纳并提供所述备用探针；更换部，用于在动力的作用下开启或闭合，以使所述探针脱离所述更换部或所述更换部将所述备用探针夹持住；所述探针盒和所述更换部通过第一探针管连通。