[发明专利]双通干涉测量编码器系统有效
| 申请号： | 201610602780.6 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN106289336B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | P.德格鲁特;J.莱森纳 | 申请（专利权）人： | 齐戈股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01D5/38;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邵亚丽;贾洪菠 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 编码器系统包括：编码器头，用于与沿着编码器平面延伸的衍射编码器刻度一起使用，其中所述编码器头包括被如下配置和布置的多个光学元件：i)以相对于编码器平面的法线的第一入射角将第一入射光束定向到所述衍射编码器刻度；ii)以相对于编码器平面的法线的第一返回角从衍射编码器刻度接收第一返回光束，第一返回角不同于第一入射角；iii)以相对于编码器平面的法线的第二入射角将第一返回光束作为第二入射光束重定向到所述衍射编码器刻度；和iv)以相对于编码器平面的法线的第二返回角从所述衍射编码器刻度接收回第二返回光束，第二返回角不同于第二入射角；以及v)保持第一入射角与第二入射角之间的差小于第一入射角和第一返回角之间的差并且小于第二入射角与第二返回角之间的差。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 测量 编码器 系统 | ||
【主权项】：
1.一种编码器系统，包括：编码器头，用于与沿着编码器平面延伸的衍射编码器刻度一起使用，其中所述编码器头包括被如下配置和布置的多个光学元件：i)以相对于编码器平面的法线的第一入射角将第一入射光束定向到所述衍射编码器刻度；ii)以相对于编码器平面的法线的第一返回角从衍射编码器刻度接收第一返回光束，第一返回角不同于第一入射角；iii)以相对于编码器平面的法线的第二入射角将第一返回光束作为第二入射光束重定向到所述衍射编码器刻度；iv)以相对于编码器平面的法线的第二返回角从所述衍射编码器刻度接收回第二返回光束，第二返回角不同于第二入射角；以及v)保持第一入射角与第二入射角之间的差小于第一入射角与第一返回角之间的差并且小于第二入射角与第二返回角之间的差。
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