[发明专利]一种钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板材料及其制备方法，其原料组分及质量百分比含量为：金刚石粉末58～82％,陶瓷粉末18～42％；所述陶瓷粉末的原料组分及质量百分比含量为：SiO2 44～62％，B2O3 18～33％，Li2O 3～10％，Al2O3 4～9％，Na2O 2～5％,CaO 3～6％；在此基础上，外加质量百分比为1～9％的钛粉。本发明于常压下700～850℃烧结，导热系数和抗弯强度分别达到4.2w/(m·k)和100Mpa，具有介电系数低、热膨胀系数与Si电子元件相匹配等优点，是一种适用于电子封装的基板材料；且制备成本低，原料容易获得，操作工序简单，具有巨大的经济和社会效益。

主权项

一种钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板材料，其原料组分及质量百分比含量为：金刚石粉末58～82％,陶瓷粉末18～42％；所述的陶瓷粉末的原料组分及质量百分比含量为：SiO2 44～62％，B2O3 18～33％，Li2O 3～10％，Al2O3 4～9％，Na2O 2～5％,CaO 3～6％，在此基础上，外加质量百分比为1～9％的钛粉。上述钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板材料的制备方法，步骤如下：(1)将SiO2 44～62％，B2O3 18～33％，Li2O 3～10％，Al2O3 4～9％，Na2O 2～5％,CaO 3～6％按质量百分比混合，球磨12h，过160目标准筛，制得混合粉体；然后将混合粉体置于熔块炉中于1350℃熔炼5h,水淬，得到玻璃块体，再于100℃烘箱中干燥24h后进行研磨，过160目筛，制得玻璃粉末；(2)将步骤(1)制得的玻璃粉末与钛粉按质量百分比混合，放入球磨机中球磨5h，过160目筛，得到钛粉掺杂的陶瓷混合粉末；(3)将步骤(2)制得的陶瓷混合粉末与金刚石粉末按照金刚石粉末金金刚石粉末58～82％,陶瓷粉末18～42％的质量百分比混合，置于球磨机中混合均匀，然后过160目标准筛，得到钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板混合料；(4)将步骤(3)得到的混合均匀的粉料按照料︰球＝1︰2的质量比混合，球磨8h，得到混合粉体，倒入磨具内，冷压成型为坯体；(5)将步骤(4)成型的坯体于常压下700～850℃烧结，保温4h，制得钛粉掺杂陶瓷基金刚石基板材料。