[发明专利]一种具有磁性镀层铜键合丝及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610606428.X 申请日: 2016-07-29
公开(公告)号: CN106129033B 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 王汉清 申请(专利权)人: 胡小青
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01L21/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 325600 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种具有磁性镀层铜键合丝,所述铜键合丝的元素质量百分比为:铜的质量百分比大于99.95%,硅的质量百分比为0.003%‑0.05%,银的质量百分比为0.001%‑0.005%,锰的质量百分比为0.005%‑0.01%,余量为不可避免的杂质;其特征在于,所述铜键合丝的外层依次包裹有磁性镀层和化学镀钯层。本发明生成的铜键合丝性能良好稳定,具有防氧化和抗电磁干扰的优点。
搜索关键词: 一种 具有 磁性 镀层 铜键合丝 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种制备具有磁性镀层铜键合丝的方法,所述铜键合丝的元素质量百分比为:铜的质量百分比大于99.95%,硅的质量百分比为0.003%‑0.05%,银的质量百分比为0.001%‑0.005%,锰的质量百分比为0.005%‑0.01%,余量为不可避免的杂质;所述铜键合丝的外层依次包裹有磁性镀层和化学镀钯层;其特征在于,采用以下步骤制成:(1)熔铸和拉丝:在熔铸过程中加入0.003%‑0.05%的硅、0.001%‑0.005%的银和0.005%‑0.01%的锰,加热方式采用中频加热,连铸方式采用下引式真空连铸,并控制熔铸和拉丝条件为:熔铸温度为1100‑1300℃,真空度1.0*10‑5Mpa,精炼时间20‑40分钟,连铸速度150‑300mm/分钟,形成的铜坯直径为3‑8mm,拉丝速度为50‑100m/min;(2)电镀磁性镀层:将铜键合丝成品在退火后单根放入铁的电镀液中进行电镀铁层,其中铁的电镀液的铁离子浓度为20‑50克每升,铁层厚度为50‑500μm;然后再把镀有铁层的铜键合丝放入铁钴的电镀液中进行电镀铁钴合金层,其中铁钴的电镀液的铁离子浓度为20‑50克每升,钴离子的浓度为10‑20克每升,铁钴合金层厚度为200‑800μm;(3)化学镀钯:将铜键合丝成品在退火后单根放入镀钯液进行化学镀钯,镀钯液的钯离子浓度为5‑20克每升,镀钯条件为镀钯液的pH值控制在9.5‑10.3,镀钯液的温度控制在40‑60摄氏度;(4)退火:利用无水乙醇还原氧化铜的特性(CuO+CH3CH2OH—CH3CHO+Cu+H2O),用氮气加无水乙醇代替氮氢混合气进行退火保护;退火温度为250~500℃;(5)清洗:利用无水乙醇在高温蒸发时爆炸力打掉丝上的脏物;(6)对清洗后的键合丝进行复绕。
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