[发明专利]一种制备AZO靶材的方法在审
| 申请号： | 201610606595.4 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106220161A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 易鉴荣;唐臻;林荔珊 | 申请（专利权）人： | 柳州豪祥特科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 545000 广西壮族自治区柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备AZO靶材的方法，其包括将六水合硝酸锌和碳酸钠固体混合研磨；然后将混合物置于氨水溶液中洗涤，再用无水乙醇淋洗；接着进行陈化、抽滤，得到前驱体；将前驱体干燥、煅烧，得到纳米氧化锌粉体；将上述纳米氧化锌粉体和氧化铝粉体加入聚丙烯酸溶液中，形成悬浮液，再对悬浮液进行球磨；接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中，进行真空除气后倒入模具，并固化、脱模干燥得到生坯；对生坯排胶处理后进行烧结，得到AZO靶材。本发明可制备出纳米级氧化锌，不仅成本低，工艺重复性好，且粒子质量较高；本发明将上述纳米级颗粒通过上述工艺制备的AZO靶材成分分布均匀、密度高，提高了AZO靶材的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 azo 方法 | ||
【主权项】：
一种制备AZO靶材的方法，其包括以下步骤：（1）将六水合硝酸锌和碳酸钠固体混合研磨；（2）然后将混合物置于氨水溶液中洗涤，再用无水乙醇淋洗；（3）接着进行陈化、抽滤，得到前驱体；（4）将前驱体干燥、煅烧，得到纳米氧化锌粉体；（5）将上述纳米氧化锌粉体和氧化铝粉体加入聚丙烯酸溶液中，形成悬浮液，再对悬浮液进行球磨；（6）接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中，进行真空除气后倒入模具，并固化、脱模干燥得到生坯；（7）对生坯排胶处理后进行烧结，得到 AZO 靶材。
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