[发明专利]一种AZO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201610606704.2 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106220162A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 易鉴荣;唐臻;林荔珊 | 申请（专利权）人： | 柳州豪祥特科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 545000 广西壮族自治区柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种AZO靶材的制备方法，其包括按比例将硝酸锌溶液和硝酸铝溶液混合；向上述混合溶液中加入丙烯酰胺、交联剂、引发剂，并在恒温水浴中加热后进行真空干燥，得到前驱体；煅烧前驱体，得到AZO纳米粉体；将AZO纳米粉体加入聚丙烯酸溶液中球磨；接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中，进行真空除气后倒入模具，并固化、脱模干燥得到生坯；对生坯排胶处理后进行烧结，得到 AZO 靶材。本发明可提高粉体的化学均匀性，有效减小粉体的团聚，从而可制备出ATO的纳米级颗粒；同时，将该ATO的纳米级颗粒通过上述工艺制备的AZO靶材成分分布均匀、密度高，提高了AZO靶材的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种AZO靶材的制备方法，其包括以下步骤：（1）按比例将硝酸锌溶液和硝酸铝溶液混合；（2）向上述混合溶液中加入丙烯酰胺和交联剂，并混合搅拌均匀，直至溶液澄清；（3）向上述澄清后的溶液中加入引发剂，并在恒温水浴中加热后进行真空干燥，得到前驱体；（4）煅烧前驱体，得到AZO纳米粉体；（5）将上述AZO纳米粉体加入聚丙烯酸溶液中，形成悬浮液，再对悬浮液进行球磨；（6）接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中，进行真空除气后倒入模具，并固化、脱模干燥得到生坯；（7）对生坯排胶处理后进行烧结，得到 AZO 靶材。
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