[发明专利]一种单位格点几何信息提取方法

摘要

本发明提供一种单位格点几何信息提取方式，其通过提取密度参数、周长参数及权重线宽参数，以及采用提取平均分布几何中心，以有效表征单位格点内图形的分布中心，从而能够有效反映出单位格点内不同图形分布的平均影响距离，将影响格点平均分布中心与目标格点平均分布中心的距离取代影响格点中心与目标格点中心间的距离作为影响距离引入到影响权重计算中，有效地反映出了影响格点对目标格点的影响权重。

主权项

1.一种单位格点几何信息提取方法，用于对版图进行分析或可制造性检测， 其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：将版图按照一定大小切割成M1个格点；其中，M1为正整数；步骤S2：提取各个格点内图形的密度参数；步骤S3：提取各个格点内图形的周长参数；步骤S4：提取各个格点内图形的权重线宽参数；步骤S5：提取各个格点内图形的平均分布几何中心；所述步骤S5具体包括如下步骤：步骤S51：将各格点内图形按照面积最大原则切分成M2个内切分子图形,所述内切分子图形是矩形和/或三角形；其中，M2为正整数；步骤S52：计算各格点内切分子图形的几何中心；步骤S53：根据各格点内切分子图形的几何中心，计算各格点内图形的平均几何中心以表征单位格点内图形的分布中心；步骤S6：将平坦化长度范围内各影响格点图形平均分布中心与目标格点图形平均分布中心的距离作为各自的影响距离引入到影响权重计算中，并据计算所得权重计算出目标格点的有效图形密度参数、有效图形周长参数及有效权重线宽参数。