[发明专利]一种化学机械研磨模拟方法

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨模拟方法，包括建立化学机械研磨模型，并格式化为与化学机械研磨结果对应的线宽对数‑密度矩阵表格，对版图进行窗格划分，将每个窗格版图的等效线宽、密度转换为模型表格中的线宽对数‑密度坐标，根据每个窗格在模型表格中的坐标位置和与其相邻的表格交点所对应的化学机械研磨结果，计算出每个窗格初步的化学机械研磨模拟结果，并考虑版图上周围窗格对当前窗格的影响，根据相关的权重因子，计算出每个窗格最终的化学机械研磨模拟结果并输出；可在保证产品模拟预测结果准确性的基础上，大幅提升对化学机械研磨工艺的模拟速度，及时检查出化学机械研磨工艺设计热点，缩短产品生产周期。

主权项

1.一种化学机械研磨模拟方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01：建立化学机械研磨模型，将其格式化为线宽对数‑密度矩阵表格，并使各表格交点对应相应线宽、密度下的化学机械研磨结果；所述化学机械研磨模型的建立，包括以下步骤：步骤S011：根据工艺平台下的设计规则，设计线宽对数‑密度矩阵表格，包括线宽对数/密度的取值范围以及线宽对数/密度坐标序列的步径选取；步骤S012：根据线宽对数‑密度矩阵表格中表格交点对应的线宽和密度，设计一系列测试图形；步骤S013：收集各测试图形的化学机械研磨结果数据，直接赋值给对应的各表格交点；步骤S014：基于线性插值的数学方法，对所述线宽对数‑密度矩阵表格中剩余的空白表格交点进行化学机械研磨结果计算并赋值；步骤S015：将表格交点已全部赋值的线宽对数‑密度矩阵表格保存，并将相应工艺平台下的化学机械研磨模型一一格式化为规范的线宽对数‑密度矩阵表格，完成全部模型的建立；步骤S02：对版图进行窗格划分，将每个窗格版图的等效线宽、密度转换为线宽对数‑密度矩阵表格中的线宽对数‑密度坐标；步骤S03：根据每个窗格在线宽对数‑密度矩阵表格中的坐标位置和与其相邻的表格交点所对应的化学机械研磨结果，通过拟合计算出每个窗格初步的化学机械研磨模拟结果；步骤S04：考虑版图上周围窗格对当前窗格的影响，根据相关的权重因子，通过拟合计算出每个窗格最终的化学机械研磨模拟结果；步骤S05：输出整个版图的化学机械研磨模拟结果。