[发明专利]一种薄膜的水汽/气体渗透率测试系统与方法在审
申请号: | 201610608232.4 | 申请日: | 2016-07-29 |
公开(公告)号: | CN106153519A | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 王希祖;陈志宽 | 申请(专利权)人: | 方圆环球光电技术盐城有限公司 |
主分类号: | G01N15/08 | 分类号: | G01N15/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 224004 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜的水汽/气体渗透率测试方系统与方法,可用于各种透明/非透明薄膜和板材的检测,尤其涉及到有机电子器件的超高水汽/氧气阻挡率的柔性封装薄膜和基底的测试,这是一种建立在分子化学反应的计量方法。利用活泼金属探测层接触到,从待测样品透过的水汽/气体后,所产生反应及所引起的金属探测层电阻值的变化曲线,再通过定量分析电阻率与原子层厚度的变化和定标,可以计算得到样品的水汽/气体渗透率。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 水汽 气体 渗透 测试 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜的水汽/气体渗透率得测试系统,其特征在于,包括:沉积待测样品上的电极层;水汽/气体敏感材料导电探测器层;致密金属氧化物覆盖层;中间有沟槽的封装盖板,利用密封剂封装在探测器层上;封装盖板上的水汽/气体吸附材料层;可监控电阻值变化的探测器。
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