[发明专利]电磁导轨装置有效
| 申请号： | 201610608421.1 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107664920B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈庆生;杨晓峰;季汉川;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电磁导轨装置，包括：导轨单元，安装在基座上；滑块单元，包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组，其中，所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上，并与所述导轨单元之间存在气隙；所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。本发明利用磁浮，由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以无限增加使用行程，由于电磁可调，可以实现一定的加速度补偿功能，可适应高加速度应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁导轨 导轨单元 气隙 磁阻电机 矢量 滑块 加速度补偿 滑块单元 滑块行程 嵌入安装 包络 可调 面型 加工 | ||
【主权项】：
1.一种电磁导轨装置，其特征在于，包括：导轨单元，安装在基座上；滑块单元，包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组，其中，所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上，并与所述导轨单元之间存在气隙；所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。
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