[发明专利]一种氮化铝喷涂装置及其喷涂方法

摘要

本发明提供一种氮化铝喷涂装置及其喷涂方法，所述装置包括设置有反应室的壳体，所述壳体上分别设置有喷射口和氮气入口连接反应室，其中，所述反应室内设置有通过连接外部电源实现接近放电的铝丝电极和铝块电极，所述铝块电极设置在喷射口处，氮化铝喷涂装置工作时，氮气通过氮气入口持续通入反应室内，所述铝丝电极前端抵近铝块电极并在外部电源作用下放电进而产生高温的氮化铝等离子体，氮化铝等离子体从喷射口喷出，使对应表面上形成一层氮化铝薄膜。所述氮化铝喷涂装置结构简单、制造成本低，并且能高效产生氮化铝薄膜，将装置产生的氮化铝喷涂在各种工件表面，应用范围广，并且所述装置可调整氮化铝薄膜喷涂的厚度以满足各种生产需求。

主权项

一种氮化铝喷涂装置，其特征在于，所述装置包括设置有反应室的壳体，所述壳体上分别设置有喷射口和氮气入口连接反应室，其中，所述反应室内设置有通过连接外部电源实现接近放电的铝丝电极和铝块电极，所述铝块电极设置在喷射口处，氮化铝喷涂装置工作时，氮气通过氮气入口持续通入反应室内，所述铝丝电极前端抵近铝块电极并在外部电源作用下放电进而产生高温的氮化铝等离子体，所述的氮化铝等离子体从喷射口喷出，使对应于喷射口的表面上形成一层氮化铝薄膜。