[发明专利]一种大面积均匀面电子源

摘要

本发明公开了一种大面积均匀面电子源，它包括紫外光源，光刻钢网，紫外光源外壳，第一金阴极夹具组件，第一MCP夹具组件，第二金阴极夹具组件，金阴极，MCP，第二MCP夹具组件，第三MCP夹具组件，MCP夹具与金阴极夹具连接件。本发明的面电子源采用金阴极作为光电转换部件，使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件，使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照，通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。这种结构的面电子源使我们可以得到均匀的面电流。

主权项

1.一种大面积均匀面电子源，其特征在于，包括紫外光源(1)、光刻钢网(2)、紫外光源外壳(3)、第一金阴极夹具组件(5)、第一MCP夹具组件(6)、第二金阴极夹具组件(7)、金阴极(8)、MCP(9)、第二MCP夹具组件(10)、第三MCP夹具组件(13)、MCP夹具与金阴极夹具连接件(14)；所述紫外光源外壳(3)位于真空室的真空玻璃窗(11)下方并与真空室底盘(4)的外底部通过真空室连接法兰(12)相固连，紫外光源外壳(3)内底部中心设置紫外光源(1)，紫外光源(1)的上方设置光刻钢网(2)；在真空室内部，真空玻璃窗(11)的上方依次设置金阴极(8)与MCP(9)，其中金阴极(8)通过第一金阴极夹具组件(5)和第二金阴极夹具组件(7)固连在真空室内，其中，第一金阴极夹具组件(5)固定在真空玻璃窗(11)的上方，第二金阴极夹具组件(7)位于第一金阴极夹具组件(5)的内部，并对金阴极(8)供电；MCP(9)通过第一MCP夹具组件(6)、第二MCP夹具组件(10)和第三MCP夹具组件(13)固连在真空室内，其中，第一MCP夹具组件(6)位于第一金阴极夹具组件(5)的上方并通过MCP夹具与金阴极夹具连接件(14)固定，第三MCP夹具组件(13)位于第一MCP夹具组件(6)的内侧并用于给MCP(9)供电，第二MCP夹具组件(10)位于MCP(9)的上方，并对其输出端供电。