[发明专利]制备透射电子显微镜样品的方法在审
| 申请号： | 201610612977.8 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106226134A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈强;邱燕蓉 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备透射电子显微镜样品的方法，包括：第一步骤：利用聚焦离子束对需要制备的芯片样品进行处理，以获得透射电子显微镜薄片样品；第二步骤：使用反应气体对透射电子显微镜薄片样品进行处理；第三步骤：利用透射电子显微镜对处理后的透射电子显微镜样品薄片进行观测。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 透射 电子显微镜 样品 方法 | ||
【主权项】：
一种制备透射电子显微镜样品的方法，其特征在于包括：第一步骤：利用聚焦离子束对需要制备的芯片样品进行处理，以获得透射电子显微镜薄片样品；第二步骤：使用反应气体对透射电子显微镜薄片样品进行处理；第三步骤：利用透射电子显微镜对处理后的透射电子显微镜样品薄片进行观测。
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