[发明专利]设备定期保养效果分析方法有效
申请号: | 201610613017.3 | 申请日: | 2016-07-29 |
公开(公告)号: | CN106295811B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 龚丹莉;陈旭;邵雄 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G06Q10/00 | 分类号: | G06Q10/00;G06Q50/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种设备定期保养效果分析方法,包括:获取机台在预定时间段内的设备定期保养信息;获取预定时间段内各产品白像素值;基于二分法进行设备定期保养前后白像素值分组;通过HC公式计算机台在每一个处理步骤的设备定期保养前后对比MR值;基于HC公式进行机台设备定期保养前后对比分析;基于Apriori算法判断该预定时间段内机台多次设备定期保养的综合情况。 | ||
搜索关键词: | 设备 定期 保养 效果 分析 方法 | ||
【主权项】:
1.一种设备定期保养效果分析方法,其特征在于包括:第一步骤:获取机台在预定时间段内的设备定期保养信息;第二步骤:获取预定时间段内各产品白像素值;第三步骤:基于二分法进行设备定期保养前后白像素值分组;第四步骤:通过HC公式计算机台在每一个处理步骤的设备定期保养前后对比MR值;HC公式是两组对象的比较,以MR1和MR2两个值进行综合判定,根据白像素特性,以白像素均值最低的设备定期保养分组为基准,其余为参考组;HC公式被定义如下计算公式:MR1=ABS(Avg(Y)‑Avg(X))/Std(X)MR2=Std(Y)/Std(X)其中,X、Y分别为设备定期保养前后分组,且Avg(X)<Avg(Y),MR1指参数平均值的偏差,MR2是指参数标准值的偏差,函数ABS是绝对值公式,函数Avg是平均值公式,函数Std是标准差公式;第五步骤:基于Apriori算法判断该预定时间段内机台多次设备定期保养的综合情况,在第五步骤,计算支持度supp(X)=occur(X)/count(D)=P(X);其中supp(X)∈[‑1,1];以机台为单位,P(X)为支持度,X是机台,D是全部机台,Occur(X)=Bad PM Cnt–Good PM Cnt;Bad PM Cnt表示设备定期保养失败次数,Good PM Cnt表示设备定期保养成功次数;Count(D)=Total PM Cnt;Total PM Cnt表示设备定期保养总次数。
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G06 计算;推算;计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政;管理
G06Q10-02 .预定,例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化,例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理,例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源;企业规划;组织模型
G06Q10-08 .物流,例如仓储、装货、配送或运输;存货或库存管理,例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化,例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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