[发明专利]设备定期保养效果分析方法有效

专利信息
申请号: 201610613017.3 申请日: 2016-07-29
公开(公告)号: CN106295811B 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 龚丹莉;陈旭;邵雄 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06Q10/00 分类号: G06Q10/00;G06Q50/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种设备定期保养效果分析方法,包括:获取机台在预定时间段内的设备定期保养信息;获取预定时间段内各产品白像素值;基于二分法进行设备定期保养前后白像素值分组;通过HC公式计算机台在每一个处理步骤的设备定期保养前后对比MR值;基于HC公式进行机台设备定期保养前后对比分析;基于Apriori算法判断该预定时间段内机台多次设备定期保养的综合情况。
搜索关键词: 设备 定期 保养 效果 分析 方法
【主权项】:
1.一种设备定期保养效果分析方法,其特征在于包括:第一步骤:获取机台在预定时间段内的设备定期保养信息;第二步骤:获取预定时间段内各产品白像素值;第三步骤:基于二分法进行设备定期保养前后白像素值分组;第四步骤:通过HC公式计算机台在每一个处理步骤的设备定期保养前后对比MR值;HC公式是两组对象的比较,以MR1和MR2两个值进行综合判定,根据白像素特性,以白像素均值最低的设备定期保养分组为基准,其余为参考组;HC公式被定义如下计算公式:MR1=ABS(Avg(Y)‑Avg(X))/Std(X)MR2=Std(Y)/Std(X)其中,X、Y分别为设备定期保养前后分组,且Avg(X)<Avg(Y),MR1指参数平均值的偏差,MR2是指参数标准值的偏差,函数ABS是绝对值公式,函数Avg是平均值公式,函数Std是标准差公式;第五步骤:基于Apriori算法判断该预定时间段内机台多次设备定期保养的综合情况,在第五步骤,计算支持度supp(X)=occur(X)/count(D)=P(X);其中supp(X)∈[‑1,1];以机台为单位,P(X)为支持度,X是机台,D是全部机台,Occur(X)=Bad PM Cnt–Good PM Cnt;Bad PM Cnt表示设备定期保养失败次数,Good PM Cnt表示设备定期保养成功次数;Count(D)=Total PM Cnt;Total PM Cnt表示设备定期保养总次数。
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