[发明专利]一种承载盘旋转控制装置及其控制方法

摘要

本发明实施例公开了一种承载盘旋转控制装置及其控制方法，通过不断检测承载盘转速并与预先设定的目标转速相比较，从而形成反馈调节来调节承载盘转速，同时根据检测到的承载盘的实时转速调节出适合该实时转速的反应腔气体环境，解决了在转速调整过程中反应腔体环境与实时转速不对应的问题。本发明实施例方法包括：承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀，所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接，所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接。

主权项

1.一种承载盘旋转控制装置，其特征在于，包括：承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀，所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接，所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接；其中，所述承载盘转速控制模块，用于获取到所述伺服电机反馈的实时转速信号，并根据所述实时转速信号对应的实时转速进行进气流量值和出气流量值的计算，并将计算结果对应的控制信号发送给所述反应腔体气体控制模块控制所述气动阀进行与计算出的所述进气流量值和所述出气流量值对应的调节；所述承载盘转速控制模块具体包括PLC控制器单元、伺服电机驱动单元、承载盘转速测量单元；所述PLC控制器单元的输出端分别与所述伺服电机驱动单元输入端、所述反应腔体气体控制模块连接；所述伺服电机驱动单元的输出端与所述伺服电机的输入端通信连接；所述承载盘转速测量单元的输入端与所述伺服电机的光电编码器的输出端通信连接；所述承载盘转速测量单元的输出端与所述PLC控制器单元的输入端通信连接；所述伺服电机驱动单元，用于驱动所述伺服电机转动；所述光电编码器，用于采集所述伺服电机的转速信号，并将所述伺服电机的实时转速信号传递到所述承载盘转速测量单元；所述承载盘转速测量单元，用于将接收到的所述光电编码器传递来的所述实时转速信号传递给所述PLC控制器单元；所述PLC控制器单元，用于根据所述实时转速进行进气流量值和出气流量值的计算，并将计算结果对应的控制信号发送给所述反应腔体气体控制模块控制所述气动阀进行与计算出的所述进气流量值和所述出气流量值对应的调节。