[发明专利]一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备有效
| 申请号： | 201610617322.X | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106119782B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张金中 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种蒸发源、蒸镀设备及OLED显示器生产设备，用以在改善膜厚均一性的过程中，避免时间浪费，从而提高产能，以及避免控制软件复杂的问题，本申请提供的蒸发源包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于坩埚与加热丝之间的多个热电偶电极，还包括：至少一根温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 设备 oled 显示器 生产 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，包括：坩埚、位于该坩埚顶部的多个喷嘴、位于该坩埚周围的加热丝和位于所述坩埚与所述加热丝之间的多个热电偶电极，其特征在于，还包括：温度调节杆；所述温度调节杆用于调节所述温度调节杆所在位置处所述坩埚的温度；所述坩埚为线型坩埚，所述温度调节杆为多根，且各所述温度调节杆沿所述坩埚的长边延伸方向呈均匀分布。
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