[发明专利]光扫描器及其制造方法、图像显示装置以及头戴式显示器在审
| 申请号： | 201610621535.X | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106444017A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 沟口安志 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08;G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供接合强度高且具有优异的机械强度的光扫描器、光扫描器的制造方法、图像显示装置及头戴式显示器。光扫描器(3)具有第二Si层(41)、第一Si层(43)以及位于二者之间的第一SiO2层(42)，且包括：可动部(31)及轴部(321、322)，由第二Si层(41)形成；保持部(34)，与可动部(31)分离地配置；连接部(36)，由第一SiO2层(42)形成并连接可动部(31)与保持部(34)；光反射部(35)，设置于保持部(34)的上表面并对光进行反射。可动部(31)与连接部(36)以直接接合的方式进行接合。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描器 及其 制造 方法 图像 显示装置 以及 头戴式 显示器 | ||
【主权项】：
一种光扫描器，其特征在于，所述光扫描器具有：第一Si层；第一SiO2层；以及第二Si层，所述第一Si层、所述第一SiO2层及所述第二Si层形成以所述第一Si层、所述第一SiO2层及所述第二Si层的顺序层叠的层结构，所述第二Si层包括可动部以及以能够使所述可动部绕摆动轴摆动的形式支撑所述可动部的轴部，所述第一Si层包括保持部，所述第一SiO2层包括连接所述可动部与所述保持部的连接部，所述光扫描器包括：光反射部，设置于所述保持部的与设置有所述连接部的面相反的面一侧，对光进行反射，所述可动部与所述连接部以直接接合的方式进行接合。
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