[发明专利]真空泵及质量分析装置有效
| 申请号： | 201610621779.8 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106523394B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 真锅雅嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/54 |
| 代理公司： | 11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵以及质量分析装置，可实现排气性能的提高。本发明的真空泵包含多个吸气口，在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子并且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，所述真空泵包括将从所述第2吸气口流入的气体引导至所述贯通孔所贯通且与所述第2吸气口所对向的区域相离的螺纹槽的气体通路。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 质量 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，其特征在于包括：/n第1泵平台；/n第2泵平台，设置在比所述第1泵平台更靠泵下游侧的位置，包括沿内周面圆周方向交替地形成有多个螺纹槽及螺纹牙的圆筒状定子、以及设置在所述圆筒状定子的内周侧的圆筒状转子；/n第1吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠上游侧的位置；以及/n第2吸气口，设置在比所述第1泵平台更靠下游侧的位置，与所述第2泵平台连通，/n在所述圆筒状定子上，形成有贯通所述圆筒状定子并且与形成于内周面的一个以上的所述螺纹槽连通的一个以上的贯通孔，/n形成于所述圆筒状定子的所述一个以上的贯通孔的各圆周方向尺寸的合计被设定为所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的圆周方向尺寸以上，由此比形成于所述圆筒状定子的外周面上的所述第2吸气口所对向的区域的所述螺纹槽的数量还多的数量的所述螺纹槽以跨越所述一个以上的贯通孔的方式形成，/n所述真空泵包括将从所述第2吸气口流入的气体引导至所述贯通孔所贯通且与所述第2吸气口所对向的区域相离的螺纹槽的气体通路。/n
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