[发明专利]一种具有自检测功能的电容式复合传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201610621825.4 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106289334A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人： | 上海芯赫科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241;G01P15/125;G01L9/12 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所44332 | 代理人： | 曹柏荣,廖志男 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有自检测功能的电容式复合传感器，包括至少一个加速度传感器和一个压力传感器，基于预制空腔SOI晶圆，所述的预制空腔SOI晶圆依次设置有衬底、绝缘层、器件层以及位于衬底的空腔，所述压力传感器设有空腔；每个所述加速度传感器亦设有空腔，所述加速度传感器的所述空腔的上方开设有贯穿所述器件层、所述绝缘层的释放槽。本发明的电容式复合传感器其加速度传感器基于预制空腔SOI晶圆制造，避免采用键合工艺或者牺牲层技术制作加速度传感器结构，刻蚀及可动结构释放都采用干法刻蚀工艺，其检测差分电容及自检测驱动电容的极板面积由器件层厚度或/和刻蚀深度决定，一致性好，预制空腔SOI晶圆衬底上做有接地电极，减小噪声信号对器件性能的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 检测 功能 电容 复合 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种具有自检测功能的电容式复合传感器，包括至少一个加速度传感器和一个压力传感器，基于预制空腔SOI晶圆，所述的预制空腔SOI晶圆依次设置有衬底、绝缘层、器件层以及位于衬底的空腔，其特征在于，所述压力传感器设有空腔；所述加速度传感器亦相应设有空腔，所述加速度传感器的所述空腔的上方预定位置开设有贯穿所述器件层、所述绝缘层的释放槽。
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