[发明专利]一种原子团簇束流的针对有机体的纳米加工方法与设备有效
| 申请号： | 201610622687.1 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106119802B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王学锋 | 申请（专利权）人： | 苏州康力丰纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/22 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210008 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基于原子团簇束流的针对有机体的纳米加工方法，利用团簇束流对于蒸气压高的有机物进行真空内的纳米加工，实现纳米颗粒到达有机物表面并进行功能化生长；原子团簇离子达到1.5×108amu m/s的动量；指蒸气压在室温条件下为0.1‑100Pa的固体材料。有机物原子团簇束流的产生装置有串联的I室、II室和III室；通过I室、II室之间或/与II室、III室之间喷嘴张开角度的实现原子团簇束流等速度生长，喷嘴角度张开的角度为5到35度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子团 簇束流 针对 有机体 纳米 加工 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基于原子团簇束流的针对有机体的纳米加工方法，其特征是利用团簇束流对于蒸气压高的有机物进行真空内的纳米加工，实现纳米颗粒到达有机物表面并进行功能化生长；原子团簇离子达到1.5×108amu m/s的动量；所述有机物指蒸气压在室温条件下为0.1‑100Pa的固体材料；有机物原子团簇束流的产生装置设有串联的I室、II室和III室；通过I室、II室之间或/与II室、III室之间喷嘴张开角度实现原子团簇束流等速度生长，喷嘴角度张开的角度为5到35度。
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