[发明专利]固态势垒针尖接触模式的扫描隧道显微镜有效

专利信息
申请号: 201610623215.8 申请日: 2016-08-02
公开(公告)号: CN106226560B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 李全锋 申请(专利权)人: 河南师范大学
主分类号: G01Q60/10 分类号: G01Q60/10;G01Q60/16
代理公司: 新乡市平原专利有限责任公司 41107 代理人: 路宽
地址: 453007 *** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种固态势垒针尖接触模式的扫描隧道显微镜,导电探针由导电针体及设置于导电针体自由端的导电针尖构成,该导电针尖上包覆有至少一层固态电介质薄膜形成固态势垒针尖,扫描成像过程中,通过调节样品台或/和探针台的高度使固态势垒针尖以与样品接触的模式扫描,得到的穿过固态势垒针尖的隧穿电流输入到扫描隧道显微镜测试系统和/或导电原子力显微镜测试系统的电流放大电路,所得输出连同该隧穿电流对应的坐标信息输入到扫描隧道显微镜测试系统和/或导电原子力显微镜测试系统的数据处理和成像模块,得到样品表面的电子态密度分布信息。本发明开辟了扫描隧道显微镜的新工作模式、抗震能力强、成功率高、成本低且分辨率高。
搜索关键词: 固态 针尖 接触 模式 扫描 隧道 显微镜
【主权项】:
固态势垒针尖接触模式的扫描隧道显微镜,包括扫描隧道显微镜测试系统和/或导电原子力显微镜测试系统以及扫描隧道显微镜的导电探针和/或导电原子力显微镜的导电探针,其特征在于:所述的导电探针由导电针体及设置于导电针体自由端的导电针尖构成,该导电针尖上包覆有至少一层固态电介质薄膜形成固态势垒针尖,扫描成像过程中,通过调节样品台或/和探针台的高度使固态势垒针尖以与样品接触的模式扫描,得到的穿过固态势垒针尖的隧穿电流输入到扫描隧道显微镜测试系统和/或导电原子力显微镜测试系统的电流放大电路,然后所得输出连同该隧穿电流对应的坐标信息输入到扫描隧道显微镜测试系统和/或导电原子力显微镜测试系统的数据处理和成像模块,最终得到样品表面的电子态密度分布信息。
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