[发明专利]用于馈给高频功率的装置及具有所述装置的衬底处理设备

摘要

本发明涉及一种用于馈给高频功率的装置及具有所述装置的衬底处理设备，且更具体地说，涉及一种其中匹配器与功率分配器整合的用于馈给高频功率的装置以及一种具有所述装置的衬底处理设备。用于馈给高频功率的装置包含输入单元，高频功率从高频电源输入到输入单元中；多个输出单元，输入到输入单元中的高频功率在多个输出单元中被分配并输出；多个可变电容器，其分别连接在分配高频功率的分配点与多个输出单元之间；以及第二可变电容器，其连接在输入单元与分配点之间。本发明可以省略匹配器和功率分配器的重复元件以减少制造成本。

主权项

一种用于馈给高频功率的装置，其包括：输入单元，高频功率从高频电源输入到所述输入单元中；多个输出单元，输入到所述输入单元中的所述高频功率在所述多个输出单元中被分配并输出；多个可变电容器，其分别连接在分配所述高频功率的分配点与所述多个输出单元之间；以及第二可变电容器，其连接在所述输入单元与所述分配点之间。