[发明专利]针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针在审
| 申请号： | 201610624180.X | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106093474A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李全锋;李全利 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司 41107 | 代理人： | 路宽 |
| 地址： | 453007 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针，属于扫描探针显微镜的探针设计技术领域。本发明的技术方案要点为：针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针，包括用于扫描探针显微镜的导电探针，所述的导电探针由导电针体及设置于导电针体自由端的导电针尖构成，该导电针尖上包覆有至少一层固态电介质薄膜。本发明对探针导电材料的硬度和化学活性要求不高、耐磨性好且分辨率高，特别适用于扫描电化学显微镜、导电原子力显微镜和接触模式扫描隧道显微镜，同时适用于其它现有模式的扫描探针显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 固态 电介质 薄膜 探针 | ||
【主权项】：
针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针，包括用于扫描探针显微镜的导电探针，其特征在于：所述的导电探针由导电针体及设置于导电针体自由端的导电针尖构成，该导电针尖上包覆有至少一层固态电介质薄膜。
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