[发明专利]气体传感器敏感层超薄氧化铝保护膜的低温制备方法在审
| 申请号： | 201610624194.1 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106242625A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张茂林;李智敏;闫养希;黄云霞;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | C04B38/06 | 分类号： | C04B38/06;C04B35/10;C04B35/622;C04B35/626;G01N27/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 杨璐 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的气体传感器敏感层超薄氧化铝保护膜的低温制备方法：将强碱溶液滴加到铝盐溶液中，通过调节pH值，得到悬浮物；将悬浮物转移到高压反应釜内，经水热反应后得到沉淀物；将沉淀物进行清洗、干燥处理，得到干粉体，再将干粉体置于马弗炉中进行热处理，得到勃姆石粉体；配制溶剂，将勃姆石粉体研磨成勃姆石细粉后添加到配制出的溶剂中，再向该溶剂中添加造孔剂，最后经超声分散处理，得到勃姆石浆料；将勃姆石浆料均匀涂覆到传感器敏感层表面，经自然流平后采用红外烘干，再于马弗炉中热处理后得到超薄的传感器敏感层氧化铝保护膜。利用本发明的制备方法能在低温条件下制备出厚度薄、层数少及不易脱落的气体传感器敏感层超薄保护膜。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 敏感 超薄 氧化铝 保护膜 低温 制备 方法 | ||
【主权项】：
气体传感器敏感层超薄氧化铝保护膜的低温制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1、分别称取铝盐和强碱，将称取的铝盐溶解于水中配制出铝盐溶液，将强碱溶解于水中配制出强碱溶液；将强碱溶液滴加到铝盐溶液中，通过调节pH值，得到悬浮物；步骤2、将经步骤1得到的悬浮物转移到高压反应釜内，经水热反应后得到沉淀物；步骤3、将经步骤2得到的沉淀物依次进行清洗、干燥处理，得到干粉体；再将得到的干粉体置于马弗炉中进行热处理，得到勃姆石粉体；步骤4、配制溶剂；将经步骤3得到的勃姆石粉体研磨成勃姆石细粉后添加到配制出的溶剂中，再向该溶剂中添加造孔剂，最后经超声分散处理，得到勃姆石浆料；步骤5、将经步骤4得到的勃姆石浆料均匀涂覆到传感器敏感层表面，经自然流平后采用红外烘干，再于马弗炉中进行热处理后得到超薄的传感器敏感层氧化铝保护膜。
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