[发明专利]用于金属层的蚀刻组合物有效
| 申请号： | 201610624750.5 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106435588B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 鞠仁说;权玟廷;李钟文 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供用于金属层的蚀刻组合物，其包括：(a)过硫酸盐；(b)氟化合物；(c)无机酸；(d)4‑甲基噻唑；(e)氯化合物；(f)非金属硫酸盐；(g)噻吩化合物；(h)有机酸或其盐；和(i)水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1.用于金属层的蚀刻组合物，包括：相对于所述蚀刻组合物的总重量，过硫酸盐0.5重量％‑20重量％；氟化合物0.01重量％‑2重量％；无机酸1重量％‑10重量％；4‑甲基噻唑0.1重量％‑5重量％；氯化合物0.1重量％‑5重量％；非金属硫酸盐0.5重量％‑10重量％；噻吩化合物0.01重量％‑3重量％；有机酸或其盐1重量％‑20重量％；和余量的水，使得整个组合物的总重量成为100重量％，其中所述噻吩化合物是选自环丁砜、四氢‑3‑噻吩胺、四氢噻吩1‑氧化物和2‑甲基四氢噻吩‑3‑酮中的一种或多种。
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