[发明专利]一种单级衍射光栅有效
| 申请号： | 201610625575.1 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106094087B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 史丽娜;刘子维;浦探超;李海亮;牛洁斌;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单级衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，不透光薄膜上分布N个透光孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此只有0级和+/‑1级衍射，不存在高级衍射，能够消除谐波污染，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构上只存在透光和不透光两种区域，这种二值化的结构易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种单级衍射光栅，其特征在于，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及N个透光孔；其中，所述N个透光孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；所述透光孔具体包括：圆孔或椭圆孔；所述斜方格子包括：正方格子、长方格子、三角格子、有心长方格子及普通的斜方格子；当所述透光孔为方孔时，所述方孔的边长2a与Px之间的比例关系为2a＝Px/2，所述准斜方格子沿x轴方向的周期为2Px；所述衍射光栅的相对衍射效率根据公式![]()
得出；所述I0为衍射图样中心处的强度；所述k为波矢，所述k＝2π/λ；所述p＝ξ/z，所述q＝η/z，(ξ,η)代表衍射屏上的位置，z为光栅到衍射屏的距离；所述Nx为x方向孔的个数；Ny为y方向孔的个数。
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