[发明专利]一种1×N通道的MEMS光开关模块在审
| 申请号： | 201610625919.9 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106019490A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 周剑超;张策;李流超;黄涌;李云燕;郑安贵;唐炳促;黄景元;李栋;林之华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十四研究所;桂林大为通信技术有限公司;桂林信通科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司45107 | 代理人： | 欧阳波 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明为一种1×N通道的MEMS光开关模块，含有镜片的MEMS芯片安装于基座，含有光纤阵列和阵列透镜的多芯准直器安装于管帽内，光纤阵列从管帽的外端引出，管帽内端与基座内端相配合固接。N为1～24。光纤阵列中一根输入光纤位于中心，N根输出光纤为以中心为对称的圆形阵列或矩形阵列。光窗直径大于光纤阵列直径。MEMS芯片、管帽光窗、阵列透镜及光纤阵列的中心处于同一直线上。基座中心的MEMS芯片周围有6个与基座绝缘的焊盘，与MEMS芯片的功能焊点键合。基座的外端的6个管脚分别对应连接6个焊盘。本发明输入、输出光纤位于MEMS芯片同一侧，所需元器件显著减少，通道数多、结构紧凑、体积小；一次反射实现光路转换，响应速度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 mems 开关 模块 | ||
【主权项】：
一种1×N通道的MEMS光开关模块，包括MEMS芯片(5)和多芯准直器，多芯准直器含有光纤阵列(1)和阵列透镜(2)，其特征在于：所述含有镜片的MEMS芯片(5)安装于基座(4)，所述多芯准直器安装于管帽(3)内，光纤阵列(1)从管帽(3)的外端引出；管帽(3)内端与基座(4)内端相配合，二者固定连接；所述管帽(3)内端顶部有一光窗，该光窗与所述基座(4)上的MEMS芯片(5)正相对，也与管帽(3)内的阵列透镜(2)相对；多芯准直器内的输入光纤(1‑1)导入的入射光经过阵列透镜(2)准直后，到达MEMS芯片(5)的镜片，镜片的反射，改变光的行进方向，光再通过阵列透镜(2)汇聚于某根输出光纤(1‑2)。
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