[发明专利]一种高精度稀释采样仪

摘要

本发明是一种高精度稀释采样仪，采样探头与样品气入口连接，校准气入口与第二单向阀连接，样品气入口与第二单向阀通过管路汇集后连接有第一过滤器，第一过滤器后分成两路，一路依次连接真空泵、样品气排空口，另一路依次连接有比例阀、第二高精度质量流量控制器、文丘里管，第二高精度质量流量控制器还并联有一与其量程不同的第一高精度质量流量控制器，稀释气入口后分成两路，一路依次连接有第一调压阀、第一电磁阀，随后与比例阀、第一过滤器间的管路上一点连接，另一路依次连接有第二调压阀、第二过滤器、第二电磁阀。

主权项

一种高精度稀释采样仪，包括采样探头(13)、样品气入口(14)、校准气入口(15)、混合气接出口(1)、混合气排空口(2)、真空泵(20)、样品气排空口(19)、稀释气入口(18)，其特征在于，还包括第二单向阀(16)、控制器(24)，采样探头(13)与样品气入口(14)连接，校准气入口(15)与第二单向阀(16)连接，样品气入口(14)与第二单向阀(16)通过管路汇集后连接有第一过滤器(23)，第一过滤器(23)后分成两路，一路依次连接真空泵(20)、样品气排空口(19)，另一路依次连接有比例阀(21)、第二高精度质量流量控制器(10)、文丘里管(12)，第二高精度质量流量控制器(10)还并联有一与其量程不同的第一高精度质量流量控制器(9)，稀释气入口(18)后分成两路，一路依次连接有第一调压阀(17)、第一电磁阀(22)，随后与比例阀(21)、第一过滤器(23)间的管路上一点连接，另一路依次连接有第二调压阀(8)、第二过滤器(7)、第二电磁阀(6)，随后由第二电磁阀(6)又分成两路，一路连接有第一质量流量控制器(11)，随后与文丘里管(12)连接，另一路依次连接有第二质量流量控制器(5)、第一单向阀(4)，文丘里管(12)、第一单向阀(4)的出口通过管路汇集后连接有混合器(3)，混合器(3)又分成两路分别与混合气接出口(1)、混合气排空口(2)连接，混合气接出口(1)连接有分析仪器，第二电磁阀(6)、第一电磁阀(22)、第二质量流量控制器(5)、第一质量流量控制器(11)、采样探头(13)、真空泵(20)、比例阀(21)、第一高精度质量流量控制器(9)、第二高精度质量流量控制器(10)均分别与控制器(24)连接。