[发明专利]离子迁移谱仪

摘要

本发明涉及离子迁移检测领域，特别涉及一种离子迁移谱仪。离子迁移谱仪，包括硅底板，所述硅底板上表面依次设有离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器，硅底板上面设有盖体，将离子源、迁移管、检测电极和气流驱动器均封装在盖体内部，其中离子源的出口与迁移管入口相连，迁移管出口处依次设有检测电极和气流驱动器。本发明所述离子迁移谱仪，利用电压控制介质阻挡放电电路的动作，进而控制迁移管内的气体流速，从而精确地获得离子的注入量，从而提高离子迁移谱仪的分辨率，利用本发明可以将离子迁移谱仪分别率提高至90左右。

主权项

1.离子迁移谱仪，包括硅底板（1），所述硅底板（1）上表面依次设有离子源、迁移管、检测电极（3）和介质阻挡放电电路（4），硅底板（1）上面设有盖体，将离子源、迁移管、检测电极（3）和介质阻挡放电电路（4）均封装在盖体内部，其中离子源的出口与迁移管入口相连，迁移管出口处依次设有检测电极（3）和介质阻挡放电电路（4），所述介质阻挡放电电路（4）包括上电极（6），下电极（9）、介质层，介质层上表面一端设有上电极（6），另一端设有辅助电极（8），介质层的下表面设有下电极（9），上电极（6）与交流电相连，下电极（9）接地，辅助电极（8）接地或接常压电源；所述辅助电极（8）与介质层之间设有非晶碳层（7）。