[发明专利]一种金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器有效
| 申请号： | 201610629251.5 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106324077B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张勇;潘志刚;张健鹏;张嘉祥;程珍珍;陈麒宇;童佳明;梁冰点;史京辉;张晶园;贺永宁;李昕;王小华;刘定新;杨爱军;荣命哲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/70 | 分类号： | G01N27/70 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有小深槽的收集极构成；三电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径为0.6～4mm、小引出孔的孔径为1～6mm，小深槽的边长和孔深分别为1×1～6×8mm和50～200μm；三电极之间的极间距按照小透气孔和小引出孔的孔径及小深槽的边长和孔深设定。该金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器根据电流检测氟化亚硫酰浓度，工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的氟化亚硫酰。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 纳米孔 薄膜 小透气孔 电离式 引出孔 传感器 深槽 第三电极 三电极 收集极 边长 孔深 背景气体 第二电极 第一电极 电流检测 工作电压 绝缘支柱 六氟化硫 蒸发沉积 金属膜 可检测 灵敏度 内表面 引出极 电极 板面 附着 基底 隔离 生长 | ||
【主权项】：
1.一种金纳米孔薄膜电离式氟化亚硫酰传感器，包括三个自下而上依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，其特征在于：所述第一电极由内表面附着有分布着金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；所述第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；所述第三电极由板面设有小深槽的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；所述第一电极内表面金属膜基底上采用蒸发沉积法制备金纳米孔薄膜材料；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和小深槽的边长和孔深设定；所述小透气孔的孔径设定在0.6～4mm，对应第一电极与第二电极之间极间距与小透气孔的孔径之比为3/200～3/20；小引出孔的孔径为1～6mm，对应第一电极与第二电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为1/100～9/100，第二电极间距与第三电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为1/100～9/100；小深槽的边长和孔深分别为1×1～6×8mm和50～200μm，对应第二电极与第三电极之间极间距与小深槽孔的孔深之比为5/9～200/6。
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