[发明专利]一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器有效
| 申请号： | 201610629330.6 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106198678B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张勇;陈麒宇;程珍珍;潘志刚;张健鹏;张嘉祥;梁冰点;童佳明;张晶园;王小华;刘定新;杨爱军;贺永宁;李昕;荣命哲 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着采用蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径设定后；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定。该金纳米孔薄膜电离式二氧化硫传感器通过电流检测二氧化硫浓度，与现有技术相比其工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测六氟化硫背景气体中的二氧化硫。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 电极 电离 二氧化硫 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器，包括三个自下而上依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，其特征在于：所述第一电极由内表面附着有分布着金纳米孔薄膜的金属膜基底以及设有小透气孔的阴极构成；所述第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；所述第三电极由板面设有深槽的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；所述第一电极内表面金属膜基底上采用蒸发沉积法制备金纳米孔薄膜材料；所述小透气孔的孔径设定在0.6～3.6mm，小引出孔的孔径为1.0～5.0mm，深槽的边长、深度分别为1×1～8×8mm和100～240μm；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和深槽的边长、深度设定；所述小透气孔的孔径为0.6～3.6mm时，第一电极与第二电极之间极间距与小透气孔的孔径之比为1/60～1/8；所述小引出孔的孔径为1.0～5.0mm时，第一电极与第二电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为3/250～3/40，第二电极与第三电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为9/1000～2/25；所述深槽的边长、槽深分别为1×1～8×8mm和100～240μm时，第二电极与第三电极之间极间距与深槽槽深之比为3/16～4/5；金纳米孔薄膜三电极电离式二氧化硫传感器灵敏度达到了‑9.4ppm‑1，量程达到了0‑370ppm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610629330.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
