[发明专利]一种晶片盘推送装置

摘要

本发明公开了一种晶片盘推送装置，其包括工作平台，以及固定在工作平台上推送机构，推送机构包括装载有多个晶片盘的至少一个提篮设置在所述提篮下方的顶升气缸，设置在所述提篮前方的，用于将所述提篮内的晶片盘推出的推送气缸，所述晶片盘推送装置还包括固定在所述工作平台上的定位组件和送料机构，所述定位组件设置在所述提篮的后方，用于将所述推送气缸从所述提篮中推送出的晶片盘进行定位，所述送料机构设置在所述定位组件的后方，用于向所述定位组件上的晶片盘输送物料。本发明的该晶片盘推送装置能够自动完成晶片盘的推送和上料，不需要人工操作，进而降低了劳动强度，提升了工作效率。 1

主权项

1.一种晶片盘推送装置，其特征在于，包括工作平台（1），以及固定在所述工作平台（1）上推送机构、定位组件和送料机构，其中，所述推送机构包括装载有多个晶片盘的至少一个提篮（22），设置在所述提篮（22）下方的顶升气缸（23），以及用于将晶片盘从所述提篮（22）内推出的推送气缸（24），所述推送气缸（24），所述提篮（22），所述定位组件和所述送料机构沿所述晶片盘Y轴方向依次排列，所述送料机构包括固定在所述工作平台（1）上的第一输送带机构，设置在所述第一输送带机构上的料盒（43），设置在所述第一输送带机构一端的，用于承接所述第一输送带机构输送来的物料的料斗（44），以及一端设置在所述料斗（44）下方的，用于承接物料的第二输送带机构，以及设置在所述第二输送带机构一侧的，用于将所述第二输送机构上的物料吸附至所述定位组件上的晶片盘上的机械臂机构。

2.如权利要求1所述的晶片盘推送装置，其特征在于，所述第一输送带机构包括平行于所述晶片盘Y轴的输送带（421），分别设置在所述输送带（421）两端的主、从动轮，支撑所述主、从动轮转轴的支撑座，以及驱动所述主动轮的驱动气缸（424），所述驱动气缸（424）固定在所述支撑座上，所述支撑座固定在所述工作平台（1）上；和/或，所述第二输送带机构包括平行于所述晶片盘X轴的同步带（451），分别设置在所述同步带（451）两端的主、从动轮，支撑所述从动轮的支撑座，驱动所述主动轮的驱动马达（454），以及固定所述驱动马达（454）的马达安装板，所述马达安装板固定在所述工作平台（1）上。

3.如权利要求2所述的晶片盘推送装置，其特征在于，所述第二输送带机构还包括设置在所述同步带（451）两侧的物料挡板（456），所述物料挡板（456）靠近所述料斗（44）的一端设置有多个限料块（457）。

4.如权利要求2所述的晶片盘推送装置，其特征在于，所述机械臂机构包括固定在工作平台（1）上的，分别平行于所述晶片盘X轴的机械臂（47）和所述晶片盘Y轴的机械臂导轨（46），所述机械臂（47）的一端以可相对于该机械臂导轨沿所述晶片盘Y轴前后移动的方式安装在所述机械臂导轨（46）上，所述机械臂（47）上还设置有滑块（48），所述滑块（48）以可相对于所述机械臂（47）沿晶片盘X轴左右移动的方式安装在所述机械臂（47）上，所述滑块（48）上固定设置有至少两个步进马达（49），通过联轴器与所述步进马达（49）相连的吸嘴（410），通过导向板（413）固定在所述滑块（48）上的送料销（411），其中，所述吸嘴（410）和所述送料销（411）位于所述同步带（451）正上方，所述送料销（411），所述滑块（48）的顶部还设置有千分表头(412)。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的晶片盘推送装置，其特征在于，所述提篮（22）为由底板（222），两个侧板（223）和顶板（224）围合形成的前后两侧开口的方形篮框，且所述顶板（224）上固定设置有手柄（225），所述侧板（223）的内壁上设置有多个与所述晶片盘边缘相配合的导轨。

6.如权利要求5所述的晶片盘推送装置，其特征在于，所述工作平台（1）上对应于所述提篮（22）的位置设置有托板（221），所述托板（221）上还固定设置有用于定位所述底板（222）的限位块（226），所述托板（221）在所述顶升气缸(23)的推杆作用下可相对于所述工作平台（1）上下移动。

7.如权利要求5所述的晶片盘推送装置，其特征在于，还包括通过固定架设置在机械臂上方的监控镜头。