[发明专利]一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器

摘要

本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底及设有小透气孔的电极构成；第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；第三电极由板面设有小槽的收集极构成；三电极分别通过绝缘支柱相互隔离；小透气孔的孔径为0.8～5mm、小引出孔的孔径为1.2～7mm，小槽的边长和槽深分别为1.2×1.2～7×9mm和50～220μm；三电极之间的极间距按照小透气孔、小引出孔的孔径和小槽的边长和槽深设定。该金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器根据电流大小检测气体浓度，工作电压小，收集极电流大，灵敏度高，可检测氮气背景气体中的一氧化碳气体。

主权项

1.一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器，包括三个自下而上依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，其特征在于：所述第一电极由内表面附着有分布着金纳米孔的金属膜基底以及设有小透气孔的电极构成；所述第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成；所述第三电极由板面设有小槽的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；所述第一电极内表面金属膜基底上采用蒸发沉积法制备金纳米孔薄膜材料；所述小透气孔的孔径设定在0.8～3mm、小引出孔的孔径为1.2～2mm，小槽的边长和槽深分别为1.2×1.2～6×8mm和50～200μm；三电极之间的极间距按照小透气孔的孔径、小引出孔的孔径和小槽的边长和深度设定；所述小透气孔的孔径为0.8～3mm时，第一电极与第二电极之间极间距与小透气孔的孔径之比为1/40～1/8；所述小引出孔的孔径为1.2～2mm时，第一电极与第二电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为3/80～1/12，第二电极与第三电极之间极间距与小引出孔的孔径之比为3/80～1/12；所述小槽的边长和槽深分别为1.2×1.2～6×8mm和50～200μm时，第二电极与第三电极之间极间距与小槽的槽深之比为3/8～2/1；金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器灵敏度达到了‑1.4×10^‑2ppm^‑1。