[发明专利]一种复合扫描磁场镀膜机有效
| 申请号： | 201610632264.8 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106086805A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 周毅;李国强 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南省湘潭*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种复合扫描磁场镀膜机，它主要是解决现有阴极靶材的利用率低，靶材采购量大，人工投入大等技术问题。其技术方案要点是：包括真空室体、阴极腔体（1）、磁钢部件（2）、横向驱动部件（3）和纵向驱动部件（4），所述阴极腔体（1）和真空室体密封构成溅镀室，所述阴极腔体（1）底部设有靶材槽，磁钢部件（2）安装在阴极腔体（1）内，形成封闭环形磁场，所述阴极腔体（1）上端设有纵向驱动部件（4），纵向驱动部件（4）上端连接横向驱动部件（3），所述磁钢部件（2）连接横向驱动部件（3）。它主要是应用于真空溅射镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 扫描 磁场 镀膜 | ||
【主权项】：
一种复合扫描磁场镀膜机，其特征是：它包括真空室体、阴极腔体（1）、磁钢部件（2）、横向驱动部件（3）和纵向驱动部件（4），所述阴极腔体（1）和真空室体密封构成溅镀室，所述阴极腔体（1）底部设有靶材槽，磁钢部件（2）安装在阴极腔体（1）内，形成封闭环形磁场，所述阴极腔体（1）上端设有纵向驱动部件（4），纵向驱动部件（4）上端连接横向驱动部件（3），所述磁钢部件（2）连接横向驱动部件（3）。
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