[发明专利]助熔剂法生长GaN单晶体系中促进籽晶液相外延的方法在审
申请号: | 201610633144.X | 申请日: | 2016-08-04 |
公开(公告)号: | CN107687022A | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 刘宗亮;徐科;任国强;王建峰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;苏州纳维科技有限公司 |
主分类号: | C30B19/02 | 分类号: | C30B19/02;C30B29/40 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种助熔剂法生长GaN单晶体系中促进籽晶液相外延的方法,其包括在以助熔剂法生长氮化镓单晶的过程中,于氮化镓单晶的生长体系内添加碳添加剂,所述碳添加剂包括氮化后的碳材料。较之现有技术,本发明方法通过在助熔剂法生长氮化镓单晶的体系内添加氮化后的碳材料作为添加剂,可以有效抑制氮化镓多晶的形成,促进氮化镓籽晶液相外延生长,并有效降低氮化镓籽晶生长前期的籽晶回溶。 | ||
搜索关键词: | 熔剂 生长 gan 单晶体 促进 籽晶 外延 方法 | ||
【主权项】:
一种助熔剂法生长GaN单晶体系中促进籽晶液相外延的方法,其特征在于包括:在以助熔剂法生长氮化镓单晶的过程中,于氮化镓单晶的生长体系内添加碳添加剂,所述碳添加剂包括氮化后的碳材料。
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