[发明专利]一种用于LED晶片制作的退火装置在审
| 申请号： | 201610633164.7 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106012026A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 汪锐 | 申请（专利权）人： | 汪锐 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 237200 安徽省六安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。进行LED晶片退火时，将LED晶片置于隔离网上，打开氮气控制阀和出气口，通一段时间氮气后，将退火炉中的空气赶出退火炉外，再关闭氮气控制阀和出气口，打开氧气控制阀、加热管开关和鼓风机开关。本发明结构简单，操作方便，且退火效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 led 晶片 制作 退火 装置 | ||
【主权项】：
一种用于LED晶片制作的退火装置，包括圆筒状的退火炉，其特征在于：所述退火炉下面设有鼓风机，底部水平设有若干根加热管，所述加热管上方水平设有隔离网，所述退火炉一侧通过氮气管道连接有氮气供应装置，另一侧通过氧气管道连接有氧气供应装置。
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