[发明专利]一种显微成像景深延拓的方法及显微成像装置在审
| 申请号： | 201610633729.1 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106248692A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 武东城;刘江;苗二龙;高松涛;张敏;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于光学元件疵病检测中显微成像景深延拓的方法，所述方法包括：在显微成像装置中加入波前编码板；根据显微成像装置的物镜的倍率对加入波前编码板后的光线入射角度进行分析；根据景深延拓及适应不同倍率显微物镜成像的要求，对波前编码板位相函数进行改进优化与分析；确定设计的波前编码板的最优化的设计参数；以及根据优化后的设计参数对波前编码板进行设置，通过所述具有最优化设计参数的波前编码板延拓显微成像装置的景深。本发明还提供一种显微成像装置。通过本发明的方法及显微成像装置，可以显著地延拓显微成像装置的景深并且适用于不用倍率显微物镜，满足了高精度光学元件疵病检测的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微 成像 景深 延拓 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种显微成像景深延拓的方法，用于光学元件疵病检测中的显微成像的景深延拓，其特征在于，所述方法包括：在显微成像装置中加入波前编码板；根据显微成像装置中物镜的倍率对加入波前编码板后的光线入射角度进行分析；根据景深延拓及适应不同倍率显微物镜成像的要求，对波前编码板位相函数进行改进优化与分析；确定设计的波前编码板的最优化的设计参数；以及根据优化后的设计参数对波前编码板进行设置，通过所述具有最优化设计参数的波前编码板延拓显微成像装置的景深。
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