[发明专利]一种非晶金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610635389.6 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106119796A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 代伟;王启民;刘景茂;耿东森;高翔 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种非晶金刚石涂层的制备方法，在氖气气氛或含氖气的混合气氛中对基材进行磁控溅射沉积，功率为0.3‑5kW，衬底偏压为‑50～‑500V，沉积时间为1～3小时，得到非晶金刚石涂层，所述磁控溅射沉积采用的磁控源为纯度大于99.9％的单质石墨靶。该方法具有成本低、制备速度快、可大面积均匀沉积、适应复杂沉积表面的优点，具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种非晶金刚石涂层的制备方法，在氖气气氛或含氖气的混合气氛中对基材进行磁控溅射沉积，功率为0.3‑5kW，衬底偏压为‑50～‑500V，沉积时间为1～3小时，得到非晶金刚石涂层，所述磁控溅射沉积采用的磁控源为纯度大于99.9％的单质石墨靶。
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