[发明专利]利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法

摘要

本发明公开一种利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法，该方法是将要处理的PE隔膜在净化房内分切成需要的尺寸后安装在设备的放卷辊上；开启Roll‑Roll真空磁控溅射镀膜设备，调整设备至可镀膜工艺条件；开启离子源轰击PE膜，将聚烃高分子键部分打开；在聚烃分子键打开的同时，开启中频溅射阴极，利用中频磁控溅射阴极反应溅射Si靶材，形成SixNy‑陶瓷材料嵌入到被打开的聚烃分子键位置，形成陶瓷膜；在真空状态下进行退火处理，消除陶瓷膜应力；收‑放卷连续溅镀；整卷镀膜完成；破真空；取下收券辊；取样检查性能；包装入库；它通过利用真空磁控溅射镀膜技术在锂电池用PE隔离膜上沉积一层陶瓷膜，改善PE隔膜对电解液的润湿性和提高PE隔膜热稳定性。

主权项

利用真空磁控溅射技术在PE隔膜表面制备陶瓷膜的方法，其特征在于：它包括以下步骤：a、将要处理的PE隔膜在净化房内分切成需要的尺寸后安装在Roll‑Roll真空磁控溅射镀膜设备的放卷辊上；b、开启Roll‑Roll真空磁控溅射镀膜设备，调整设备至可镀膜工艺条件；c、开启离子源轰击PE膜，将聚烃高分子键部分打开；d、在聚烃分子键打开的同时，开启中频溅射阴极，利用中频磁控溅射阴极反应溅射Si靶材，形成SixNy‑陶瓷材料嵌入到被打开的聚烃分子键位置；通过对磁控溅射阴极的工艺的控制，形成一层致密的陶瓷膜；e、隔膜表面沉积陶瓷膜后，在真空状态下进行退火处理，消除陶瓷膜应力；f、收‑放卷连续溅镀；g、整卷镀膜完成；h、破真空；i、取下收券辊；j、取样检查性能；k、包装入库。