[发明专利]纳米压入仪用冷却平台在审

专利信息
申请号: 201610639347.X 申请日: 2016-08-08
公开(公告)号: CN106053215A 公开(公告)日: 2016-10-26
发明(设计)人: 马毅;叶建华;张泰华;彭光健;陈恒;蒋伟峰 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: G01N3/02 分类号: G01N3/02;G01N3/54;G01N3/18
代理公司: 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 代理人: 林蜀
地址: 310014 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 纳米压入仪用冷却平台,包括底座,底座前端开口,升降台嵌入底座内,升降台的前端面与底座通过拐角结构配合;散热铜排嵌入升降台中,制冷片发热端与散热铜排接触,制冷片的制冷端与热电偶接触,热电偶与载物台接触,隔热螺栓将载物台、热电偶、制冷片及散热铜排固定在升降台上。本发明提出了一种能稳定控制低温且可调节高度的冷却平台。制冷片具有通电后在两级产生温差的特性,其中发热端的热量由散热铜排中的冷媒带走,制冷端将低温传递到实验样品上,当制冷片工作一段时间,两端的温度差趋于稳定,从而使得实验试样处于稳定的低温环境中。
搜索关键词: 纳米 压入仪用 冷却 平台
【主权项】:
纳米压入仪用冷却平台,包括底座,其特征在于底座前端开口,升降台嵌入底座内,升降台的前端面与底座通过拐角结构配合;散热铜排嵌入升降台中,制冷片发热端与散热铜排接触,制冷片的制冷端与热电偶接触,热电偶与载物台接触,隔热螺栓将载物台、热电偶、制冷片及散热铜排固定在升降台上。
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