[发明专利]溅射靶、溅射仪和假体涂层方法在审
| 申请号： | 201610639742.8 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106178113A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 孟德松 | 申请（专利权）人： | 北京爱康宜诚医疗器材有限公司 |
| 主分类号： | A61L27/30 | 分类号： | A61L27/30;A61L27/50;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;H01L21/203 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅射靶、溅射仪和假体涂层方法，溅射靶包括：溅射板，溅射板上设置有溅射孔；遮挡板，遮挡板遮挡在溅射孔处，遮挡板可运动地设置以调整遮挡板所遮挡的溅射孔的通流面积。本发明中的溅射靶解决了现有技术中的假体结构的寿命较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，其特征在于，包括：溅射板(10)，所述溅射板(10)上设置有溅射孔(11)；遮挡板(20)，所述遮挡板(20)遮挡在所述溅射孔(11)处，所述遮挡板(20)可运动地设置以调整所述遮挡板(20)所遮挡的所述溅射孔(11)的通流面积。
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