[发明专利]一种并列导通开关结构及具有该结构的脉冲气体激光器

摘要

本发明涉及一种具有并列导通开关的脉冲气体激光器，采用并列的多放电室结构,每个放电室采用由上电极、下电极和中间旋转电极的三电极结构，并基于三电极结构实现多个放电室的同步导通。放电腔，包括主放电电极和下电极；所述主放电电极为保持绝缘距离排列的多段短电极，所述多段短电极与所述分列的电容器组中电容器组对应连接。多段同步放电激励高功率脉冲气体激光器，通过多列开关单元的并行导通解决了大能量激励下脉冲功率开关负荷过大的问题，又通过多段电极形式解决了大体积高能量放电不均匀不稳定的问题，使高功率脉冲气体激光器的功率水平大幅提升，也可以有效提升激光器系统的稳定性。

主权项

1.一种具有并列开关放电室的脉冲气体激光器，其特征在于，所述激光器包括：多个开关放电室，所述多个开关放电室并列设置、彼此隔离，并具有一贯通的旋转轴；所述开关放电室具有：旋转电极，设置于所述贯通的旋转轴上；第一电极，设置于所述开关放电室一侧；第二电极，设置于所述第一电极的相对侧；所述多个开关放电室中的旋转电极彼此电连通；所述多个开关放电室中的第一电极彼此电绝缘；所述多个开关放电室中的第二电极彼此电连通；多个电容器组，所述多个电容器组相互隔离、分列排列、且与所述第一电极对应连接；所述多个电容器组的每个电容器组包含多个电容器；放电腔，包括主放电电极和下电极；所述主放电电极为保持绝缘距离排列的多段短电极，所述多段短电极与所述分列的电容器组中电容器组对应连接。