[发明专利]叠环离子淌度漂移管均匀给气装置有效

专利信息
申请号: 201610641192.3 申请日: 2016-08-08
公开(公告)号: CN106356275B 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 张权青;贾滨;黄元宇;杨芃原 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于叠环离子淌度给气技术领域,具体为一种叠环离子淌度飘移管给气装置。本发明包括进气口、储气腔、给气口、密封板、极板连接口;进气口包括进气嘴及外部导管;密封板包括密封圈凹槽、密封圈;外部给气通过进气口与内部储气腔连通;整个储气腔体内除给气口外,其他位置保持密闭状态,所有给气口均匀分布于储气腔与离子漂移区间,用以保证给气的均匀性。给气装置通过极板连接口与叠环极板相连接,此接口可根据需要调整。整个给气装置可以根据需要配合叠环极板结构,调整尺寸、极板连接口及给气量,且始终确保给气的均匀性。
搜索关键词: 离子 飘移 均匀 装置
【主权项】:
1.一种叠环离子淌度漂移管给气装置,其特征在于包括:包括进气口、储气腔、给气口、密封板、极板连接口;其中:所述进气口包括进气嘴及外部导管;所述储气腔能够有效暂时将气体在其中储存并均匀分散;所述给气口为若干个均匀分布于储气腔与离子漂移区之间的贯穿孔;所述密封板用于密封整个装置;所述极板连接口用于装置与叠环极板相连接;所述进气口与储气腔相连通,将缓冲气自导管导入储气腔中;储气腔经给气口与内部离子飘移区相连接,将均匀稳定的缓冲气注入漂移管中;所述极板连接口不与内部储气腔或离子漂移区有任何联通。
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