[发明专利]一种贴片机及贴片方法有效
申请号: | 201610643639.0 | 申请日: | 2016-08-05 |
公开(公告)号: | CN106128979B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 胡海;何晋国;赵楚中;何黎明;王泰山 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;深圳瑞波光电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/48 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种贴片机及贴片方法,贴片机包括物料台、吸嘴、加热台、旋转台和移动台;其中,物料台用以放置所述芯片;吸嘴用以吸取所述物料台上的所述芯片,以及将所述芯片贴附在所述热沉上;加热台用以放置及加热所述热沉和热沉上的焊料;旋转台设置在所述加热台下方,用以支撑及使所述加热台在一平面内旋转;移动台设置在所述旋转台下方,用以支撑所述旋转台及加热台,并使所述加热台在一平面内前后左右移动。通过上述方式,本发明能够提高芯片与热沉对齐的精度,进而提高贴片质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 贴片机 方法 | ||
【主权项】:
1.一种贴片机,用以将芯片贴附至热沉上,其特征在于,包括:物料台,用以放置所述芯片;吸嘴,包括吸嘴旋转轴,用以吸取所述物料台上的所述芯片,以及将所述芯片贴附在所述热沉上;悬臂,所述悬臂的一端以所述悬臂的另一端为轴进行上下摆动,所述吸嘴利用所述吸嘴旋转轴可旋转地安装于所述悬臂的上下摆动的一端;加热台,用以放置及加热所述热沉和热沉上的焊料;旋转台,设置在所述加热台下方,用以支撑及使所述加热台在一平面内旋转;及移动台,设置在所述旋转台下方,用以支撑所述旋转台及加热台,并使所述加热台在一平面内前后左右移动;升降台,设置于所述移动台和所述加热台之间,用于根据所述芯片的侧面与热沉表面的倾斜程度调整所述加热台的高度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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