[发明专利]一种光耦合器电路精确快速固晶装置在审
申请号: | 201610644076.7 | 申请日: | 2016-08-09 |
公开(公告)号: | CN106057712A | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 张乐银;向圆;李彪;秦盼;李炳旺;李苏苏;明源 | 申请(专利权)人: | 华东光电集成器件研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 尹杰 |
地址: | 233042 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种光耦合器电路精确快速固晶装置,包括在底座上设置相互对应配合的校准器和承片台,承片台上设置光耦合器电路,在光耦合器电路上侧设置透明标尺,所述透明标尺包括透明板,在透明板上设有环形的第一刻度线和环形的第二刻度线,在透明板的一侧还设有间隔设置的第一凹槽和第二凹槽,第一凹槽和第二凹槽均设置在第二刻度线的内部,在透明板上还设有第三刻度线。本发明的优点:本装置利用透明定位卡尺,能够快速、高精度的实现晶粒的定位,手动即可将光发射与光敏二极管管芯的距离偏差控制在±10μm,满足光耦合器电路高精度的要求,操作简单、效率较高、工装制造成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 耦合器 电路 精确 快速 装置 | ||
【主权项】:
一种光耦合器电路精确快速固晶装置,包括底座(1),在底座(1)上设置相互对应配合的校准器(2)和承片台(5),在承片台(5)上设置光耦合器电路(6),在光耦合器电路(6)上侧设置透明标尺(4),校准器(2)的调节杆(2a)通过铁丝(3)连接透明标尺(4),透明标尺(4)的上侧对应设置显微镜的镜头(7),其特征在于:所述透明标尺(4)包括透明板(8),在透明板(8)上设有环形的第一刻度线(9)和环形的第二刻度线(10),在透明板(8)的一侧还设有间隔设置的第一凹槽(11)和第二凹槽(12),第一凹槽(11)和第二凹槽(12)均设置在第二刻度线(10)的内部,在透明板(8)上还设有第三刻度线(13)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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