[发明专利]微波辅助晶相控制有机电致发光器件制备方法有效

专利信息
申请号: 201610644147.3 申请日: 2016-08-09
公开(公告)号: CN106207011B 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 毕海 申请(专利权)人: 苏州华莱德电子科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司32234 代理人: 徐萍
地址: 215400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明的微波辅助晶相控制有机电致发光器件制备方法,采用无定形膜微波处理的方法对事先制备完成的Alq3无定形膜进行微波处理,再通过对面对面紧密放置的表面沉积有Alq3膜的基片进行退火,使Alq3实现纳微米材料的生长以及晶相的转变,从而制备了面式或经式Alq3薄膜材料。通过上述,本发明可以制备具有空穴传输能力的面式结构的Alq3薄膜以及具有电子传输能力的经式Alq3薄膜材料,因此解决了Alq3应用于器件的障碍,本发明提供的Alq3纳微米薄膜材料可以用于有机光电器件的组装或制备。
搜索关键词: 微波 辅助 控制 有机 电致发光 器件 制备 方法
【主权项】:
一种微波辅助晶相控制有机电致发光器件制备方法,其特征在于,采用无定形膜微波处理的方法对事先制备完成的Alq3无定形膜进行微波处理,再通过对面对面紧密放置的表面沉积有Alq3膜的基片进行退火,使Alq3实现纳微米材料的生长以及晶相的转变,从而制备了面式或经式Alq3薄膜材料,包括以下具体步骤:步骤1:以石英玻璃或硅片为基底,基底上预先制备好电极,在基底上真空沉积制备Alq3无定形膜,其中,所述的Alq3无定形膜是采用高真空5*10‑4 Pa 大气压蒸镀的方式制备得到的;步骤2:将两片Alq3无定形膜的基底相对叠放在一起,并安放在一个玻璃容器中,在氮气氛围下放置于微波发生器中,在950兆赫至2450兆赫强度下处理5分钟;步骤3:停止微波处理,即可在两片基底表面上分别得到面式或经式Alq3纳微米薄膜;步骤4:制备基于面式或经式Alq3纳微米结构超薄膜的单载流子传输器件。
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