[发明专利]一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统在审
| 申请号： | 201610646089.8 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106086895A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统，它包括蚀刻线（1），溶解再生缸（3）、过滤器A（10）、酸性蚀刻液循环再生系统（6）、废液收集罐（13）、废液中转罐（14）和过滤器B（15），蚀刻线（1）、废液收集罐（13）、废液中转罐（14）、过滤器B（15）和酸性蚀刻液循环再生系统（6）顺次通过管道连通，且构成一封闭的回路，蚀刻线（1）还通过管道连接溶解再生缸（3），且在该管道上设置有废液提升泵（2），溶解再生缸（3）与过滤器A（10）通过管道连接，且在该管道上设置有蚀刻液提升泵（11），过滤器A（10）与蚀刻线（1）连通。本发明的有益效果是：它具有零排放、无污染和生产成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 分离 酸性 蚀刻 在线 循环 再生 系统 | ||
【主权项】：
一种无损分离的酸性蚀刻液在线循环再生系统，其特征在于：它包括蚀刻线（1），溶解再生缸（3）、过滤器A（10）、酸性蚀刻液循环再生系统（6）、废液收集罐（13）、废液中转罐（14）和过滤器B（15），所述的蚀刻线（1）、废液收集罐（13）、废液中转罐（14）、过滤器B（15）和酸性蚀刻液循环再生系统（6）顺次通过管道连通，且构成一封闭的回路，所述的蚀刻线（1）还通过管道连接溶解再生缸（3），且在该管道上设置有废液提升泵（2），所述的溶解再生缸（3）与过滤器A（10）通过管道连接，且在该管道上设置有蚀刻液提升泵（11），所述的过滤器A（10）与蚀刻线（1）连通。
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